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德国BMT AF200自聚焦测头系统
德国BMT AF200自聚焦测头系统的图片
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德国
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AF 200微型自动聚焦激光测量系统

德国BMT公司生产的AF200自聚焦测头系统,可替代现有传统的位移和粗糙度测头。实现快速非接触测量表面形貌,粗糙度以及精密位移。

激光测量光束借助于物镜聚焦于物体表面,物镜的位置连续可调,激光束的焦点总是与物体表面重合,可同时测量表面轮廓和局域反射光。

AFS传感器具有表面复现度高的特点,传感器可配备微型照相机适配器,以便能够直接通过物镜对表面片段直接观察,使激光光束精密定位。特别开发、高度集成的BMT-IC技术,传感器热漂移极低。高倍率孔径物镜,保证仪器无论在垂直方向还是在水平方向均能提供较高的分辨率。主要用途:

具有完整表面复现的表面粗糙度和轮廓测量

精密位移测量

微机械零件的尺寸测量

金相测量

振动测量

厚度测量

微小区域内直线度、平面度、园弧半径的测量(如转位刀片刃口、金刚石刀具)

主要特点:

非接触式表面轮廓测量、反射率的测量、垂直和横向的尺寸测量

BMT-IC**技术传感器

微型化的传感器

分辨率1nm

测量范围2000μm

光斑直径< 1μm

适用于制造业所有粗糙度测量

连续变焦

主要优点:

在高保真轮廓复现下对3D结构进行快速的非接触式测量

测量结果与表面结构无关

数据采集和评估可归并到已有的软件中

具有可组装性,可组装到已有的系统中

技术数据:

AFS 1 传感器

AFS 2传感器

TFS传感器

测量范围nm

±500 / ±50

±1000 / ±100

±500 / ±50

垂直分辨率nm

1

1

工作距离mm

2

2

13

激光班直径(约)μm

0.5

0.5

1

**测量频率* kHz

20

20

20

**视场倾角** °

20

20

15

激光波长nm

635

635

635

激光等级

1

1

1

外形尺寸mm

52 x 25 x 58

52 x 25 x 58

52 x 25 x 58

重量(约)g

100

100

100

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